鉭濺射靶材、鉭鎢合金靶材規(guī)格:直徑(50-400)mm *厚度(3-28)mm 牌號(hào):RO5200, RO5400, RO5252(Ta-2.5W), RO5255(Ta-10W)純度:>=99.95%(最大99.99%)成份說(shuō)明:Ta99.95 ?。プ钌貽0.0120 %最大C0.0040 %最大N0.0040 %最
鉭濺射靶材、鉭鎢合金靶材
規(guī)格:直徑(50-400)mm *厚度(3-28)mm
牌號(hào):RO5200, RO5400, RO5252(Ta-2.5W), RO5255(Ta-10W)
純度:>=99.95%(最大99.99%)
成份說(shuō)明:
Ta |
99.95 %最少 |
O |
0.0120 %最大 |
C |
0.0040 %最大 |
N |
0.0040 %最大 |
H |
0.0010 %最大 |
S |
0.0001 %最大 |
Al |
0.0005 %最大 |
Ca |
0.0005 %最大 |
Cd |
0.0005 %最大 |
Cl |
0.0005 %最大 |
Co |
0.0005 %最大 |
Cr |
0.0005 %最大 |
Cu |
0.0005 %最大 |
Fe |
0.0005 %最大 |
Hf |
0.0005 %最大 |
K |
0.0001 %最大 |
Li |
0.0001 %最大 |
Mg |
0.0005 %最大 |
Mn |
0.0005 %最大 |
Mo |
0.0030 %最大 |
Na |
0.0001 %最大 |
Nb |
0.0350 %最大 |
Ni |
0.0005 %最大 |
Pb |
0.0005 %最大 |
Si |
0.0005 %最大 |
Sn |
0.0005 %最大 |
Ti |
0.0005 %最大 |
Th |
0.0050 %最大 |
V |
0.0005 %最大 |
W |
0.0050 %最大 |
Zn |
0.0005 %最大 |
Zr |
0.0005 %最大 |
Y |
0.0005 %最大 |
U |
0.0050 %最大 |
其它 |
0.0005 %最大 |
再結(jié)晶 :95%最少
晶粒度 :最小40μm
表面粗糙度: Ra 0.4 最大
平整度:0.1mm or 0.10% 最大.
公差:直徑公差+/- 0.254
如有特殊要求,雙方具體商定